技 术 指 标 ：
测量范围
电阻率：10-5～105 Ω.cm(可扩展)；
方块电阻：10-4～106 Ω/□(可扩展)；
电导率：10-5～105s/cm；
电阻：10-5～105 Ω；
可测晶片厚度 ≤3mm
可测晶片直径
140mmX150mm(配S-2A 型测试台)；
200mmX200mm(配S-2B 型测试台)；
400mmX500mm(配S-2C 型测试台)；
恒流源
电流量程分为1μA、10μA、100μA、1mA、10mA、100mA 六档，各档电流连续可调
数字电压表
量程及表示形式000.00～199.99 mV；分辨力：10μV；输入阻抗＞1000MΩ；
精度：±0.1% ；显示：四位半红色发光管数字显示；极性、超量程自动显示；
四探针探头基本指标
间距：1±0.01mm；针间绝缘电阻：≥1000MΩ； 机械游移率：≤0.3％；
探针：碳化钨或高速钢Ф0.5mm；探针压力：5～16 牛顿(总力)；
模拟电阻测量相对误差( 按JJG508-87 进行)
0.01Ω、0.1Ω、1Ω、10Ω、100Ω、1000Ω、10000Ω≤0.3％±1 字
整机测量最大相对误差(用硅标样片:0.01-180Ω.cm 测试) ≤±4％
整机测量标准不确定度 ≤4％
测试标准
采用双电测测试标准，通过RTS-9 双电测测试软件控制四探针测试仪进行测
量并实时采集两次组合模式下的电压值，然后根据双电测测试原理公式计算
出电阻值。仪器主机也可兼容RTS-8 四探针测试软件实现单电测测试标准，
两套软件可同时使用。
软件功能
软件可记录、保存、打印每一点的测试数据，并统计分析测试数据最大值、
最小值、平均值、最大百分变化、平均百分变化、径向不均匀度、并将数据
生成直方图，也可把测试数据输出到Excel 中，对数据进行各种数据分析。软
件还可选择自动测量功能，根据样品电阻大小自动选择适合电流量程档测试。
计算机通讯接口 并口，高速并行采集数据。
标准使用环境
温度：23±2℃；
相对湿度：≤65％；
无高频干扰；
无强光直射；

四探针测试仪主机一台
四探针测试台一台
四探针探头一个
台式电脑一台
测试软件（含测控模块）