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国产SU-8 3050光刻胶
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  • 货号 QH20211011-9
  • 品牌 中芯启恒 ( 生产厂家 )
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  • 规格/包装 1L/瓶
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简介:

中芯启恒SU-8 3050光刻胶是负性光刻胶,采用环戊酮溶剂配制而成,在超厚胶膜涂布工艺中,图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率,其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛。自2019年推出后,受到了广大客户的青睐,在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额

简介:

中芯启恒SU-8 3050光刻胶是负性光刻胶,采用环戊酮溶剂配制而成,在超厚度胶膜涂布工艺中,图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率,其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛,单次旋涂工艺胶膜厚度可选1-300um范围,可根据需要进行多次旋涂,从而获得更厚的胶膜。自2019年推出后,受到了同行业客户的青睐,在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额。

中芯启恒SU--8 3050光刻胶推荐使用I线365nm紫外曝光,可选设备Cchip-0019型光刻机也可使用电子束或X射线辐照光刻胶中的光引发剂吸收光子发生化学反应,生成一种强酸,作用是在中烘或后烘过程中作为酸催化剂促进交联反应的发生,只有曝光区域的光刻胶中才有强酸。后烘过程中,曝光区域在强酸的催化作用下,分子发生交联。 环氧交联发生在曝光后烘烤步骤;一般工艺流程为:旋涂、软烘、曝光、中烘显影后烘或硬烘可以提高图案的分辨率或消除因应力出现的裂纹,增加图案与衬底的粘附力

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