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SU-8 2002光刻胶（国产）

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货号 ZXQH2002-100ML
品牌中芯启恒 ( 生产厂家 )
CAS号
规格/包装 100mL/瓶
单位瓶
储存条件
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产品名称：SU-8 2002光刻胶（国产）

包装规格：100mL/瓶

1. 简介：

中芯启恒SU-8 2000/3000系列光刻胶是负性光刻胶，采用环戊酮溶剂配制而成，在超厚度胶膜涂布工艺中，图案化的结构有较好的稳定性和高分辨率，其膜厚范围比任何其他市售光刻胶更广泛，单次旋涂工艺胶膜厚度可选0.5-300um范围，可根据需要进行多次旋涂，从而获得更厚的胶膜。自2019年推出后，受到了同行业客户的青睐，在MEMS微加工领域占据越来越多的市场份额。

中芯启恒SU-8 2000/3000系列光刻胶根据粘度不同，划分为以下型号：

中芯启恒SU-8 2000/3000系列	单次旋涂膜厚范围
SU-8 2000.5	0.5-0.8um
SU-8 2002	2-2.9um
SU-8 2005	2-8um
SU-8 2010	10-20um
SU-8 2015	12-38um
SU-8 2025	20-80um
SU-8 2050	40-170um
SU-8 2075	60-240um
SU-8 2100	100-270um
SU-8 2150	190-650um
SU-8 3010	8-15um
SU-8 3025	20-60um
SU-8 3050	45-100um