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硅基叉指电极
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商家描述 产品评价(0)
1、外形尺寸: 4mm*6mm*0.5mm
2、线宽: 20um，线距: 20um，对数：20
3、基体材料为单晶硅，硅片表面热氧化生长二氧化硅，
厚度为 1um
4、金属层结构：Ti/Pt，厚度分别为50nm/100nm
5、电极使用温度范围： -150ºC~500º C
6、电极电阻>100TΩ（室温下，湿度65%）
7、制作工艺：光刻工艺
8、适用设备型号：CGS-1TP、CGS-4TPS、CGS-MT、
AES-4TH
9、按包销售，每包数量：20个
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