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CDG160D，1000 Torr; 8-VCR真空计
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  • 货号 3CE1-F5E-2300
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电容膜片真空计
Sky CDG160D, CDG200D 1 ... 1000 乇/毫巴
INFICON SKY CDG160D 和CDG200D 高温真空计是用于高精度总压强测量
和控制的最佳选择. CDG160D 和CDG200D 真空计是在 160°C 至 200°C 下温度
控制的, 在要求高的半导体和等离子过程中具有卓越的性能. 可供应的真空计包括
全量程范围从 1 乇至 1000 乇, 具有全部常用的法兰型号和现场总线接口和提供
线性 0 至 10 伏, 与气体类型无关的压强讯号. INFICON 电容真空计采用抗腐蚀的
超纯氧化铝陶瓷膜片. 陶瓷传感器的优势是更好的讯号稳定性, 快速地从大气压恢复,
短的预热时间和超长的使用寿命. INFICON CDGs 是高质量, 高效益的压强传感器
用于高要求的半导体,等离子和真空应用
益处
■
拥有成本低, 预热快 50%,能效高,低功耗
■
易集成,规格齐全的全量程, 法兰和接口, 标准型号有两个设点
■ 简易的一键调零钮或远距讯号调零指令,零点偏移可调增
■
诊断端口用于快速检修和维护
■
两年保用期,带有先进的
加热概念和真空计保护的长使用
寿命
■
由于卓越的讯号稳定性和再现性, 即使在严酷的等离子应用中
也无长期再校准的需要
■
合规性与标准: CE, EN, UL, SEMI, RoHS
OD ½" tube
ø12.7
(ø0.5)
DN16ISO-KF
DN16CF-R
8 VCR 插座型
用途
■
刻蚀, CVD,PVD 和其它半导体过程
■
化学和腐蚀性的高温过程
■
一般薄膜和真空过程要求的真空计保护
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