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GSL-4F多路浮子控制供气系统
本供气(混气)系统可用于多种气体单一/混合连续供气系统,尤其方便多种气体的切换混合使用;气体压力和流量数据在同一平面直观可读,操作方便;每一条气体管路均有一个高压截止阀,安全可靠!本系统广泛用于CVD供气系统,气体保护烧结,气体保护退火等。
主要技术参数
气路通道
多通道(可根据客户需求设计通道)
气路流量控制器:
采用浮子流量计控制
标准量程
10-100ml/min
16-160ml/min
25-250ml/min
25-250ml/min
接口
Φ6.35,1/4''
工作环境温度
5~45高纯气体
不锈钢管
Φ6(外)X Φ4(内)
压力真空表
-0.1~0.15 MPa, 0.01 MPa/格
截止阀
Φ6.35
混气罐
Φ80×140mm