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OTF-1200X-4-RTP 是一款精巧型快速热处理管式炉,配有4" 石英管和真空法兰, 它是专为半导体或太阳能电池基片(最大达3“)的退火而设计,采用10KW红外灯管加热最快升温速度为 50°C/秒. 30 段温度控制,精度为 +/-1°C. 计算机通过RS485口和控制软件实时控制炉子和显示温度曲线 。
·快速升温,最高达50℃/s;快速降温,最大117℃/min。
·超大管径φ110mm。
·最高温度可达900℃。
·法兰上安装有滑轨可直接推拉操作。
·开门断电。
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QQ截图20190927135708.jpg QQ截图20190927135708.jpg
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基本参数
·工作温度:最高900℃(<10min);800℃(<30min);600℃(长期)
·最快升温速率:室温~800℃: 50 ℃/s,800℃~900℃: 10℃/s
·最快降温速率:60℃/min (<200 mtorr),117℃/min (在一个大气压下)
·法兰:KF-25D型不锈钢高真空法兰
·最慢降温速率10℃/min ·加热区长度:190mm
·控温精度:+/-1℃(欧陆表型温控仪表可达0.1℃)
·加热元件:8根红外灯管(每根1.5KW,图1、2、3)
·热电偶:可插入式的铠装热电偶,进口K型热偶, 紧贴在放样品的AlN片下
·最大功率:12KW(>60A 保险) ·设备电源:AC220V/50HZ 单相
·循环水流量:0.5 m3/h
·标配流量计量程范围:16-160 ml/min
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尺寸
·760(L)×330(W)×530(H) mm (法兰关闭)
·1200(L)×330(W)×530(H) mm (法兰打开)
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重量
70Kg
认证
所有电器元件(>24V)都通过UL/MET/CSA/CE认证,若客户出认证费用,本公司保证单台设备通过德国TUV认证或CAS认证。
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保修
一年保修,终身技术支持。
特别提示:1.耗材部分如加热元件,石英管,样品坩 埚等不包含在内。
2.因使用腐蚀性气体和 酸性气体造成的损害不在保修范围内。