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超平硅片（AFM、SEM用硅片）
常作为AFM基底片用在科学研究中，超平硅片的一些参数如下：
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4" |
6" |
8" |
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直径 |
100 mm |
150 mm |
200 mm |
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向性 |
<100> |
<100> |
<100> |
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级别 |
P/Boron |
P/Boron |
P/Boron |
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Growth Method: |
CZ |
CZ |
CZ |
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电阻率 |
10-20 Ohm-cm |
10-20 Ohm-cm |
10-20 Ohm-cm |
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厚度 |
525µm ±20µm |
675µm ±20µm |
725µm ±20µm |
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TTV: |
<4.00µm |
<4.00µm |
<4.00µm |
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SFPD: |
<2.0µm |
<2.0µm |
<2.0µm |
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Warp: |
≤30µm |
≤30µm |
≤30µm |
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Bow: |
≤30µm |
≤30µm |
≤30µm |
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微粒数 |
≤20@≥0.3µm |
≤20@≥0.3µm |
≤20@≥0.3µm |
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正面Front Surface |
Polished |
Polished |
Polished |
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背面Back Surface |
Etched |
Etched |
Etched |
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平整度Flat: |
2 per SEMI Standard |
1 per SEMI Standard |
2 per SEMI Standard |
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Site Flatness: |
<2.0µm |
<2.0µm |
<2.0µm |
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粗糙Roughness |
Typically 2-3Å |
Typically 2-3Å |
Typically 2-3Å |
产品选购：
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货号 |
产品名称 |
规格 |
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71893-01 |
Ultra-Flat Silicon Wafer, 4" |
1片 |
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71893-02 |
Ultra-Flat Silicon Wafer, 6" |
1片 |
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71893-03 |
Ultra-Flat Silicon Wafer, 8" |
1片 |
